{"product_id":"9784910581743","title":"世界の半導体製造の未来図：PFASフリー戦略と次世代代替技術の最前線","description":"・PFASフリー時代の設計図！ ArF液浸からCMP、洗浄まで、工程別の代替物質とプロセス最適化を徹底解説！\u003cbr\u003e・規制リスクを機会に変える！ 欧州、米国、アジアのPFAS規制動向と、半導体サプライチェーン再編の道筋を提示！\u003cbr\u003e・装置性能の維持が鍵！ 静電チャック、シール材、潤滑油… 装置部品におけるPFASフリー材料の実用性を評価！\u003cbr\u003e・化学者の武器！ POE、APG など、次世代洗浄・剥離用界面活性剤の性能と導入メリットを深掘り解説！\u003cbr\u003e・「PFASフリー戦略における失敗課題の類型と事例」から学ぶ、致命的な歩留まり低下を防ぐ教訓を解説！\u003cbr\u003e・配管、温調、クリーンルーム・ユーティリティまで、PFASフリー化の全体像と具体的な実装計画を網羅！\u003cbr\u003e・短鎖／部分フッ素誘導体のリスクと、シリコーン系（PDMS）などの完全代替候補の特性を比較分析！\u003cbr\u003e・技術者のための実践戦略！ PFAS依存度低減に向けた「プロセス条件最適化」の具体的手法と事例を解説！","brand":"シーエムシー・リサーチ","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":50463883460912,"sku":null,"price":330000.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"url":"https:\/\/www.maruzenjunkudo.co.jp\/products\/9784910581743","provider":"丸善ジュンク堂書店ネットストア","version":"1.0","type":"link"}