薄膜化技術

初版を発行してから20年、第2版を出版してから10年が経過した。初版出版後、薄膜はディスプレイやメモリーディスクなど半導体IC以外のエレクトロニクス分野にも重要視されてきた。第2版出版後の最近の10年を見ると、原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール材料、デバイス形成の要素技術であり、21世紀においてエレクトロニクスや産業技術分野でますます重要となることが分かってきた。この第3版においては、最近の薄膜技術を基礎科学的な視点から追加したもので、古くて新しい技術書である。