1　走査電子顕微鏡（SEM）とは何か
　1.1　なぜSEMで表面観察ができるのか
　1.2　なぜSEMで分析ができるのか
　1.3　SEMの歴史

2　 SEMの像形成の基礎
　2.1　二次電子・反射電子の発生
　　2.1.1　概　要
　　2.1.2　二次電子の生成と放出
　　2.1.3　反射電子の生成と放出
　2.2　像のコントラスト
　　2.2.1　コントラストの基本概念
　　2.2.2　SEM像のコントラストを決める要因
　　2.2.3　実際のSEM像コントラストの例
　　2.2.4　画像処理によるコントラスト強調
　2.3　SEMのプローブ径
　　2.3.1　プローブ径の定義
　　2.3.2　電子銃の輝度
　　2.3.3　球面収差
　　2.3.4　色収差
　　2.3.5　回折収差
　　2.3.6　プローブ径の最小化
　　2.3.7　プローブ径と観察条件
　2.4　SEMの像分解能評価
　　2.4.1　ギャップ分解能
　　2.4.2　エッジ分解能
　　2.4.3　像シャープネス

3　SEMの装置
　3.1　電子源と電子照射系
　　3.1.1　電子銃
　　3.1.2　電子照射系
　3.2　対物レンズと検出器
　　3.2.1　対物レンズの種類
　　3.2.2　検出器
　　3.2.3　信号検出系
　3.3　低真空観察・低加速電圧観察が可能な装置
　　3.3.1　低真空SEMで帯電現象が抑制される原理
　　3.3.2　低真空SEMの歴史と用途
　　3.3.3　低真空観察のコツ
　　3.3.4　低加速電圧観察
　3.4　付属装置
　　3.4.1　元素分析装置
　　3.4.2　後方散乱電子回折装置
　　3.4.3　カソードルミネッセンス装置
　　3.4.4　ラマン分光装置

4　SEM観察の実際
　4.1　測定条件の設定
　　4.1.1　加速電圧
　　4.1.2　コンデンサーレンズ電流
　　4.1.3　作動距離
　　4.1.4　対物絞り
　　4.1.5　電子光学系の軸調整
　　4.1.6　非点補正
　4.2　画像の取得
　　4.2.1　SEMの画像取得技術の進歩
　　4.2.2　画像デジタル化の恩恵
　　4.2.3　画素数とデュエルタイムの選択
　4.3　試料の準備
　　4.3.1　サイズ調整
　　4.3.2　洗浄・乾燥
　　4.3.3　ホルダーへの試料固定方法
　　4.3.4　ホルダーの高さ調整
　4.4　試料前処理
　　4.4.1　真空や電子線照射が観察試料に与える影響と対策
　　4.4.2　前処理もほどほどに

5　SEMの応用・発展
　5.1　金属の観察
　　5.1.1　前処理
　　5.1.2　観察手法
　　5.1.3　分析応用例
　　5.1.4　形態観察
　5.2　セラミックスの観察
　　5.2.1　前処理
　　5.2.2　観察手法
　　5.2.3　分　析
　　5.2.4　解析事例
　5.3　高分子の観察
　　5.3.1　前処理
　　5.3.2　観察手法
　　5.3.3　観察・分析事例
　5.4　植物試料の観察
　　5.4.1　はじめに
　　5.4.2　表面構造観察
　　5.4.3　内部構造観察
　　5.4.4　元素分析法
　5.5　動物の観察
　　5.5.1　前処理と試料作製法
　　5.5.2　観察手法
　　5.5.3　形態観察
　5.6　複合材料の観察（二次電池の観察）
　　5.6.1　リチウムイオン電池の構造
　　5.6.2　リチウムイオン電池の取り扱いにおける注意点
　　5.6.3　リチウムイオン電池を観察するための試料調製方法
　　5.6.4　リチウムイオン電池におけるSEM活用事例
　　5.6.5　まとめ
　5.7　半導体故障解析
　　5.7.1　半導体故障解析のワークフロー
　　5.7.2　故障解析試料の作製方法
　　5.7.3　SEMによる故障解析例
　　5.7.4　SEMによるその他の方法
　　5.7.5　おわりに
　5.8　ナノマテリアルの観察
　　5.8.1　ナノマテリアルとは
　　5.8.2　前処理と観察手法
　　5.8.3　形態観察

6　発展的手法
　6.1　データの数値化・機械学習の応用
　　6.1.1　主要な解析手法
　　6.1.2　データ解析の実践と展望
　　6.1.3　画像特徴量を用いたモデリング・性能予測の事例
　6.2　集束イオンビームとの併用・三次元像構築
　　6.2.1　はじめに
　　6.2.2　FIB-SEM シリアルセクショニングの技術
　　6.2.3　得られた画像セットからの解析技術
　6.3　自動化
　　6.3.1　SEMの自動化要求
　　6.3.2　SEMの自動化方法
　　6.3.3　SEMの自動化の実例
　　6.3.4　SEMの自動化の展望

索　引