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フォトレジストの最先端技術

フォトレジストの最先端技術

遠藤政孝
73,700 円（税込）
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IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発，EUVレジストなどの先端技術，解析・評価，塗布・露光・現像・光源装置に関する情報を網羅。
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