MEMSはシーズからニーズの時代へ．

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し，大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です．

情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で，これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり，「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています．

本書では，そうした応用やニーズ面，開発の実際などをおもに取り上げ，具体的に解説しています．

これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が，MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です．