次世代のさまざまな製造分野への応用が強く望まれる原子レベルの生産技術において、「原子制御製造プロセス」に関する最新の成果を、表面科学や計算物理学といった基礎科学分野と、材料・加工・計測を三本柱とする物づくり分野が一体となった「ナノ表面科学」として体系化している。従来の工作機械精度依存型の超精密加工ではなく、広領域での原子制御製造を可能にする脱超高真空の実環境プロセスを中心に、生産技術志向の観点から「表面科学」が体系化されていることが特徴である。
基礎科学として体系化された表面科学の分野から、原子制御プロセスに必要な要素を取り上げ、物づくり分野との融合を図る4部構成で、各部の3つの章は基礎から応用へと進むように配置し、応用では最新の研究成果のレビュー含むトピックス、基礎では初学者の理解も助けるよう、原理や一般的方法を紹介する工夫がされている。