様々な物質をナノサイズに加工する「ナノ加工技術」は，先端半導体，光デバイス，バイオデバイス，量子デバイス等の動作原理に関わるナノテクノロジーを具現化し、産業化するために必要不可欠な技術です．
その方法は，光，電子線，イオン線，X 線など広義の放射線を利用するものや，化学反応を利用することにより，分子，原子レベルで，切る，曲げる，つなぐ，磨くなどの加工を施すものです．
本書では．我が国の先端ナノ加工の最先端でご活躍の先生，第一線で活躍されているエンジニアの方々から玉稿を頂戴することで、ナノ加工技術の基本的な原理の理解と応用について理解を深めます。また、技術の伝承も目的に編纂したものです。
本書が多様なナノデバイスに適したナノ加工技術の選択と高精度化を進める指針となり，高精度・高性能のナノデバイス作製の一助となることを期待するとともに、次世代の研究者の座右の書となることを願っています．