微細加工とレジスト

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微細加工とレジスト
  • 発売日：1987/11/01
  • 出版社：共立出版
  • ISBN：9784320042278

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微細加工とレジスト

微細加工とレジスト

野々垣三郎
1,100 円（税込）
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  • 発売日：1987/11/01
  • 出版社：共立出版
  • ISBN：9784320042278
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半導体デバイスを制作する際の微細な加工に、どのようなレジスト（耐食性被膜材料）が使われ、また、新しく開発されているか、現状と将来を展望。
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