ナノ電子光学
  • 発売日：2005/06/10
  • 出版社：共立出版
  • ISBN：9784320086203

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ナノ電子光学

ナノ電子光学

裏 克己
5,280 円（税込）
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  • 発売日：2005/06/10
  • 出版社：共立出版
  • ISBN：9784320086203
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商品説明
近年、電子ビーム、イオンビームは超微細加工を行うプロセス技術として、また走査電子顕微鏡などの分析・測定技術としてナノテクノロジーの基盤技術となっている。本書は、これら技術の基礎となる電子・イオンビームの軌道理論を具体例に即して体系的に解説した。
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