プラズマプロセス技術

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プラズマプロセス技術
  • 発売日：2017/01/27
  • 出版社：森北出版
  • ISBN：9784627775619

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プラズマプロセス技術

プラズマプロセス技術

プラズマ・核融合学会
6,160 円（税込）
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  • 発売日：2017/01/27
  • 出版社：森北出版
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商品説明
半導体製造・バイオ・医療といった様々な分野で用いられるプラズマプロセス技術について，基礎から応用まで解説する．超微細エッチングやプラズマCVDによる成膜，カーボンナノチューブをはじめとする各種ナノ材料・構造の創製など，とくにナノ・アトムテクノロジー領域での活用が広がっていることを背景に，最先端のプラズマ利用における技術的指針を与える内容となっている．
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