最新レジスト材料ハンドブック

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最新レジスト材料ハンドブック
  • 発売日：2005/09/30
  • 出版社：情報機構
  • ISBN：9784901677455

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最新レジスト材料ハンドブック

最新レジスト材料ハンドブック

角岡 正弘
上野 巧
河合 晃
75,900 円（税込）
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  • 発売日：2005/09/30
  • 出版社：情報機構
  • ISBN：9784901677455
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商品説明
★諸特性（現像性・塗布性・濡れ性・付着性・剥離）をいかに制御する！？　★レジスト膜表面および応力の分析・評価！　★レジストシュミレーション・パラメータの算出・設定方法！　★パターン倒れ・ＬＥＲの原因と改善！　★製造工程・プロセスおよび品質保証・品質管理！　★顔料分散レジスト・液浸レジストさらにはナノインプリントまで！
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