PFAS規制と半導体産業への影響

第一編　PFASとは
第１章　PFASとは　　長野 知広
1　PFASとは
　1.1　PFASの定義
　　1.1.1　経済協力開発機構（OECD）の定義
　　1.1.2　欧州連合（EU）による定義
　　1.1.3　米国の定義
　1.2　PFASの分類
　　1.2.1　特定PFAS
　　1.2.2　短鎖PFAS
　　1.2.3　長鎖PFAS
　　1.2.4　高分子PFAS
参考文献

第2章　PFASの特徴　　長野 知広
1　PFASの特徴
　1.1　化学的特性
　1.2　有害性
　　1.2.1　生殖，発生毒性
　　1.2.2　発がん性
　　1.2.3　その他に懸念される有害性
　1.3　難分解性
　1.4　高蓄積性
　1.5　長距離移動性
　1.6　PFASの用途と規制の論点
参考文献

第二編　PFAS規制の動向
第1章　POPs条約におけるPFASの規制動向　　萩原 利哉
1　POPs条約とは
2　POPs条約において規制されるPFAS
　2.1　PFOSとその塩及びPFOSF
　2.2　PFOAとその塩及びPFOA関連物質
　2.3　PFHxSとその塩及びPFHxS関連物質
　2.4　長鎖ペルフルオロカルボン酸（LC-PFCA）とその塩及びLC-PFCA関連物質
参考文献

第2章　欧州におけるPFASの規制動向　　萩原 利哉
1　POPs条約の締結状況
2　欧州POPs規則において規制されるPFAS
　2.1　PFOSとその塩及びPFOS関連物質
　2.2　PFOAとその塩及びそのPFOA関連物質
　2.3　PFHxSとその塩及びそのPFHxS関連物質
3　欧州REACH規則において規制されるPFAS
　3.1　欧州REACH規則附属書XVII（制限）に収載されるPFAS
　　3.1.1　Entry No.68：C9-C14PFCAとその塩及びC9-C14PFCA関連物質
　　3.1.2　Entry No.79：PFHxAとその塩及びPFHxA関連物質
　　3.1.3　Entry No.82：ペルフルオロアルキル化合物及びポリフルオロアルキル化合物（PFAS）
　3.2　欧州REACH規則附属書XVII（制限）への収載が検討されているPFAS
　3.3　欧州REACH規則認可候補物質リストに収載されるPFAS
参考文献

第3章　米国の動向連邦法、州法　　中山 政明
1　はじめに
2　連邦法
　2.1　EPAの動向
　2.2　TSCA（有害物質規制法：Toxic Substances Control Act）の動向
3　州法
参考文献

第4章　日本におけるPFASの規制動向　　萩原 利哉
1　POPs条約の締結状況
2　日本の化審法で規制されるPFAS
3　日本の水道法で規制されるPFAS
4　日本の水質汚濁防止法で規制されるPFAS
参考文献

第三編　PFASの分析技術、処理技術
第1章　製品、環境中のPFAS分析技術　　古川浩司
1　PFAS分析を行う上で必要な基本的事項
　1.1　PFASの構造による測定装置の選択
　1.2　GC/MS/MS装置
　1.3　LC/MS/MS装置
　1.4　PFAS分析に用いられる試薬及び器具
2　製品，環境中のPFAS分析（前処理工程）
　2.1　製品試料に対するPFAAおよびPFAEA分析の前処理方法
　2.2　水試料（水道水，環境水，排水）に対するPFAS分析の試料採取と前処理方法
　2.3　廃棄物に対するPFAS分析の試料採取と前処理方法
　　2.3.1　固形廃棄物試料の調製
　　2.3.2　固形廃棄物の前処理方法
　　2.3.3　液状廃棄物の前処理方法
　2.4　排ガス試料に対するPFAS測定の試料採取と前処理方法
3　試験液の測定（定性及び定量分析）
　3.1　試験液の測定手順
　3.2　分岐異性体の定量
　3.3　LC/MS/MS装置の測定条件例
　3.4　GC/MS/MS装置の測定条件例
　3.5　測定結果の信頼性確保97
4　おわりに
参考文献

第2章　機能性先端PFAS材料の分解・無機化技術　　堀　久夫
1　はじめに～PFASはどういう化合物を指すのか～
2　亜臨界水とは
3　フッ素ポリマーの亜臨界水分解
　3.1　PVDFおよびVDFと他のモノマーとの共重合体
　3.2　フッ素エラストマー（FKM）
　3.3　FEP
4　非ポリマーPFASの亜臨界水分解
　4.1　フッ素系イオン液体
　4.2　二次電池用PFAS
　4.3　半導体プロセス用光酸発生（PAG）
　4.4　フッ素系シランカップリング剤
5　おわりに
参考文献

第四編　半導体製造におけるPFAS
第1章　半導体とPFAS　　礒部　晶
1　はじめに
2　半導体製造工程の概略と技術トレンド

第2章　半導体製造前工程におけるPFAS適用工程　　礒部　晶
1　リソグラフィー
　1.1　フォトレジスト
　1.2　反射防止膜
　1.3　液浸露光
　1.4　ペリクル
　1.5　界面活性剤
　1.6　フォトレジスト以外の感光性材料
2　ドライエッチング
　2.1　エッチングガス
　2.2　熱交換流体
3　ウエットエッチング，洗浄
　3.1　界面活性剤
4　CMP
　4.1　スラリー
　4.2　CMP後洗浄液
5　メッキ
6　前工程のまとめ

第3章　半導体製造後工程におけるPFAS適用工程　　礒部　晶
1　半導体製造後工程の概要
2　研削保護テープ，ダイシングテープ
　2.1　研削保護テープ
　2.2　ダイシングテープ
3　ダイマウント
　3.1　DAF（Die Attach Film）
4　モールディング
　4.1　モールド材
　4.2　離型剤
5　パッケージ基板
　5.1　コア材
　5.2　層間膜
　5.3　アンダーフィル
6　バンプ接続
　6.1　フラックス
7　TIM（Thermal Interface Material）
8　後工程のまとめ

第4章　成形品に用いられるPFAS　　礒部　晶
1　成形品として用いられるPFASとその特徴
2　半導体製造装置，周辺機器に用いられるPFAS
　2.1　超純水，薬液関連
　2.2　フォトレジストコーティング，現像関連
　2.3　CMP（Chemical Mechanical Polishing）関連
　2.4　露光装置
　2.5　真空関連
　2.6　プラズマ関連
　2.7　電装関連
　2.8　ウエハ搬送関連
　2.9　FOUP，FOBS
3　半導体工場インフラ設備に用いられるPFAS
　3.1　超純水供給
　3.2　薬液供給
　3.3　排水関連
　3.4　排気関連

第5章　半導体工場における排水・廃棄物処理　　礒部　晶
1　製品ライフサイクルを考慮したPFASの人体・環境への影響
2　半導体工場の排水処理

第6章　代替材料の開発状況と半導体メーカー、装置・材料メーカーの動向　　礒部　晶
1　はじめに
2　欧州REACH規則の包括
3　各プレイヤーの動向
　3.1　半導体メーカー
　3.2　装置メーカー
　3.3　材料メーカー
4　PFAS代替の見通し

第7章　半導体とPFAS総括　　礒部　晶

第五編　PFAS代替材料、処理技術最新動向
第1章　東レのPFAS代替技術：半導体・水素エネルギー・分析の6領域における総合戦略～PFAS規制強化時代における材料メーカーの技術的対応～　　富川 真佐夫
1　はじめに～規制の発端～
2　PFAS規制の背景と東レの位置づけ
3　ポリイミド材料のPFASフリー化
4　PFASフリーモールド離型用フィルム
5　配管材料のPFASフリー化
6　PFASフリー圧電材料
7　グリーン水素製造，燃料電池用電解膜
8　撥水素材
9　PFAS除去技術の開発
10　PFAS分析支援
11　今後の動向
参考文献

第2章　PFAS包括規制の潮流と半導体産業への影響～次世代洗浄ソリューション『VB1000』が拓く未来～　　磯貝 光宏
1　はじめに：PFAS包括規制の潮流と半導体産業への新たな課題
2　従来の洗浄剤が抱える課題
3　水系高機能洗浄剤『VB1000』とは
　3.1 『VB1000』の洗浄特性と作用要因
　3.2　安全性と洗浄性の両立：『VB1000』の加温による洗浄力向上
4 『VB1000』：の導入メリット
5　半導体RCA洗浄への革新：水系高機能洗浄剤『VB1000』の可能性
　5.1 『VB1000』による一部工程代替の可能性
　5.2　RCA洗浄工程簡略化の可能性
　5.3 『VB1000』導入による工程上の想定効果
6　おわりに

第3章　PFAS代替材料開発動向（配管材）　　近藤 博昭
1　超純水用配管
　1.1　開発ターゲット
　1.2　配管材におけるPFAS
　（1）主材料
　（2）加工プロセス上の添加剤（PFAS含有）
2　PFAS規制代替に向けた超純水配管の技術課題と解決手段
　2.1　主原料
　2.2　副原料とパイプの構造
　2.3　パイプ成形プロセスの設計
　（1）多層化
　（2）押出品品質管理
　（3）押出成形クリーン環境
　2.4　継手の構造
　2.5　継手成形プロセスの設計
　（1）射出成形
　（2）継手品質管理
　（3）継手成形クリーン環境
3　施工法
4　実証評価
　（1）溶出試験（金属溶出，TOC溶出）
　（2）ガスバリアシミュレーション
　（3）配管曲げ
5　今後の開発展望
参考文献

第4章　可視・近紫外光による常温常圧PFAS分解　　小林 洋一
1　はじめに
2　既存のPFAS分解技術と課題
　2.1　深紫外（UVC）および真空紫外（VUV）光照射
　2.2　超臨界水および亜臨界水分解
　2.3　気泡プラズマ法
　2.4　強塩基・加熱分解
3　半導体ナノ結晶を用いたPFAS分解
4　CdSナノ結晶を用いたPFOS，ナフィオン，テフロンの可視光分解
5　ZnOナノ結晶を用いたPFOSの近紫外LED光による分解
6　今後の展望
参考文献